Прогресс не стоит на месте. Так, с развитием технологий, ни одно производство не в состоянии обойтись без насосов разного назначения. В частности, насосы для изменения давления. Производством именно таких насосов занимается американская фирма Agilent Technologies, образованная в 1939 году. Так же производство компании ориентировано на изготовление такого оборудования, как оборудование для измерений, оборудование для химического анализа и электронно-медицинское оборудование.
Навигация:
- Пластинчато-роторные насосы Agilent Technologies
- Спиральные насосы Agilent Technologies
- Турбомолекулярные насосы Agilent Technologies
Основными продуктами линейки Agilent являются:
• Тестировочные и измерительные приборы (логические анализаторы, электронные САПРы, внутрисхемные анализаторы, осциллографы и так далее).
• Оборудование для химического и биохимического анализа (ДНК-микрочипы, атомные и молекулярные спектрометры, масс-спектрометры, газовые и жидкостные хромографы и так далее).
• Оборудование для иммуногистохимических исследований, для геномики и диагностики.
В данной статье пойдет речь об вакуумных насосах. Давайте рассмотрим модельные ряд, предлагаемый нам производителем.
Вакуумные насосы служат для откачивания пара или газа для создания определенного уровня технического вакуума. Их можно разделить на: пластинчато-роторные, турбомолекулярные, сухие спиральные насосы. Далее рассмотрим каждый вид отдельно.
Пластинчато-роторные насосы Agilent Technologies
Пластинчато-роторные насосы Agilent являются форвакуумными. Они, в свою очередь, подразделяются на серии MS, DS и HS. Рассмотрим каждую серию отдельно.
Модели DS
* Данные модели имеют двухкамерную конструкцию, которая дает возможность обеспечить постоянное откачивание до 0,001 Торр при невысокой рабочей температуре самого насоса и наименее возможном для данного типа насосов обратном потоке масляных паров. В него интегрирован обратный клапан, благодаря чему масло не попадает в рабочую камеру, когда насос не работает.
* Встроенный зубчатый насос способствует принудительной циркуляции масла. Он обеспечивает надежное смазывание пластинчато-роторного насоса во всем спектре давлений.
* Клапан газового балласта обеспечивается подача воздуха ко 2-й ступени насоса. Это позволяет очистить масло от водяного пара, а так же прочих конденсирующихся газов.
* Между откачной камерой насоса и двигателем находится охлаждающий вентилятор. Это позволяет снизить температуру масла и корпуса насоса, в результате чего снижается парциальное давление и уменьшается обратный поток масляных паров. Поэтому вакуумная система не загрязняется.
* При помощи направляющих штанг модули насоса собираются и центрируются.
* На торце насоса расположено окошко для контроля уровня масла и его состояния.
Модели HS
* Насосы моделей HS 652 и HS 452 применяют новейшую технологию инвертора частоты. Благодаря ей обеспечиваются оптимально согласованные параметры для любых показателей частоты и напряжения.
* При небольшом потреблении мощности микропроцессорный контроллер инвертора частоты в комбинации с трехфазным мотором считается эффективным механизмом запуска, что может гарантировать высокий изначальный крутящий момент, который необходим для работы масляного насоса.
Техническая спецификация пластинчато-роторных насосов модели DS и HS
| DS 42 | DS 102 | DS 202 | DS 302 | DS 402 | DS 602 | HS 452 | HS 652 | |
| Откачка атмосферного воздуха, л/мин | 38 | 95 | 160 | 237 | 342 | 504 | 456 | 672 |
| Остаточное давление, без газобалласта мбар | 4 x 10-3 | 2 x 10-3 | ||||||
| Остаточное давление с газобалластом, мбар | 2 x 10-2 | 1 x 10-2 | ||||||
| Допустимый предел давления паров воды, мбар | 15 | 20 | 30 | |||||
| Допустимый объем паров воды, г/час | 60 | 100 | 160 | 350 | 550 | 350 | 550 | |
| Объем масла мин/макс, л | 0,6 | 0,2/0,5 | 0,2/0,6 | 0,5/1 | ||||
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,4 | 0,45 | 0,45 | 0,45 | 0,75 | 0,75 | 0,78 | 0,78 |
| Форвакуумный фланец | KF 16 | KF 25 | ||||||
| Выхлопной фланец | KF 16 | KF 25 | ||||||
| Вес, кг | 11 | 22 | 25 | 35 | 33 | |||
Модели МS
* Однокамерные насосы серии МS отличаются высокой производительностью (от 70 до 630 куб. м/час).
* Насосы модельного ряда МS отличаются небольшими габаритами, надежностью и легко устанавливаются и монтируются.
* Есть воздушное охлаждение. В корпус вмонтированы воздушные каналы. Интегрированный обменник тепла, отводящий ненужное тепло.
* Уменьшенное время для цикла откачивания. Высокая скорость откачивания при низком давлении.
* Хорошее уплотнение и смазывание всех опасных зон насоса проводится высокоэффективной циркуляционной системой. Невысокий уровень шума и вибраций.
* Приспособлен для работы в тяжелых условиях. Имеет корпус и статор из чугуна, стальной ротор. Пластины изготовлены из углеродного волокна.
* Есть витоновые уплотнители. При отключении интегрированный изоляционный клапан на входе ликвидирует потерю вакуума и просачивание масла из насоса.
* Более высокая экологичность. Благодаря системе подавления масляного тумана уменьшается засорение от выхлопа насоса на всем спектре рабочих давлений.
Техническая спецификация пластинчато-роторных насосов модели MS
| MS 40 | MS 101 | MS 301 | MS 631 | |
| Откачка атмосферного воздуха, л/мин | 828 | 1583 | 4167 | 9835 |
| Остаточное давление, без газобалласта мбар | 5 x 10-2 | 85 x 10-2 | ||
| Остаточное давление с газобалластом, мбар | 1 x 10-2 | 0,5 | 0,7 | |
| Допустимый предел давления паров воды, мбар | 30 | 30/40 | ||
| Допустимый объем паров воды, г/час | 550 | 5000 | 5000 | 20000 |
| Объем масла мин/макс, л | 1 | 3 | 7 | 22 |
| Мощность электродвигателя, кВт | 0,75 | 2,2 | 5,5 | 152 |
| Форвакуумный фланец | KF 25 (KF 40) | KF 40 | ISO 63 | ISO 100 |
| Выходной фланец | KF 25 | 1/4″ | 2″ | 4″ |
| Вес, кг | 33 | 89 | 190 | 575 |
Спиральные насосы Agilent Technologies
Спиральные насосы применяются для достижения «сухого» вакуума, в котором нет следов масла. Такие насосы не содержат масла и используются в разных отраслях науки и производственных технологий. Они высокопроизводительные и компактные. Малый вес (всего 9,5 кг) и малогабаритность дают возможность легко интегрировать насос в вакуумную систему оборудования ОЕМ.
Помимо компактных насосов компанией была разработана серия TriScroll. Это двухступенчатые безмасляные спиральные насосы. Они имеют низкое основное давление и высокую скорость откачивания. Рабочая камера насоса, созданная по технологии TriScroll, отличается износостойкостью и надежностью. Ее рабочие характеристики постоянны, а эксплуатационные затраты крайне низки.
Есть три серии спиральных насосов: IDP, HS и PTS.
Насосы серии IDP быстро работают и не требуют смазывания. За счет своих малых габаритов могут применяться в других вакуумных системах. Так же обладают такими преимуществами, как:
1. Невысокий уровень шумов и вибраций.
2. Подшипники и двигатель целиком изолированы от рабочей камеры насоса.
3. Есть изоляционный клапан и встроенные виброизолирующие опоры.
4. Быстрое проведение технического обслуживания.
5. Возможность блокировать подвижные детали при транспортировке.
Насосы серии HS так же применяются в различных областях. Например: в криогенной технике, электронных телескопах, манипуляционных производственных камерах и пр. рассмотрим преимущества данной серии:
1. Высокая устойчивость при работе с газовоздушными смесями и конденсационными газами благодаря газобаллонному клапану.
2. Простое тех. обслуживание и большой рабочий ресурс.
3. Компактные размеры.
4. Вакуумная система защищена от аварийных сбоев изоляционным клапаном.
5. Однокамерный насос позволяет быстро заменять уплотнение.
6. Есть встроенные часы.
Насосы серии PTS являются двухступенчатыми. Имеют небольшие габариты. Установка системы продувания подшипников позволяет работать в агрессивной среде или при значительной влажности. Наличие автоматического газового балласта увеличивает устойчивость откачных характеристик во время работы с конденсируемыми или влажными газами. Порт продувки подшипников позволяет увеличить устойчивость во время работы с конденсируемым газом. Так же имеют невысокое остаточное давление и высокую скорость откачивания.
Технические характеристики спиральных насосов
| IDP-2 | IDP-3 | SH-110 | IDP-15 | PTS-300 | PTS-600 | PTS-300INV | PTS-600INV | |
| Скорость откачки, л/мин | 30 | 50 | 90 | 214 | 210 | 420 | 150-250 | 300-500 |
| Предельное давление, мбар | 1 | 3,3 x 10-1 | 6,6 x 10-2 | 1,3 x 10-2 | 1,3 x 10-2 | 9,3 x 10-3 | 1,3 x 10-2 | 9,3 x 10-3 |
| Mакс. входное давление, атм | 1 | |||||||
| Макс. выходное давление, атм | 1,4 | 1,5 | 1,1 | |||||
| Форвакуумный фланец | KF 16 | KF 25 | KF 40 | KF 25 | KF 40 | |||
| Мощность, кВт | 0,12 | 0,19 | 0,56 | 0,76 | 0,5 | 0,5 | ||
| Охлаждение | Воздушное | |||||||
| Уровень вибрации, дБ | 55 | 56 | 50 | 68 | 55-68 | |||
| Вес, кг | 9,5 | 19 | 34 | 26,4 | 32 | 26 | 31 | |
| Время до первого сервисного обслуживания, ч | 12 000 — 16 000 | |||||||
| газовый балласт | опция | да | да | опция | да | да | опция | опция |
| изоляционный клапан | опция | опция | да | опция | опция | опция | опция | опция |
Турбомолекулярные насосы Agilent Technologies
Данные насосы обеспечивают удовлетворение обширного диапазона потребностей. Они гарантируют получение высокого вакуума, эффективность, а так же чистоту откачанного объема.
Можно выделить две разновидности турбомолекулярных насосов от Agilent. Это Turbo-V и TWISTORR.
Насосы TWISTORR (в сравнении со схожими производительности) обладают наилучшим соотношением скорости откачки и степени сжатия к габаритным размерам. Это было достигнуто путем усовершенствования конструкции этапа откачки на молекулярном уровне. Эластичный подвес ротора обеспечивает невысокий уровень вибраций и шумов менее чем 50 dB, увеличивает устойчивость подшипников и ротора при повышенной нагрузке.
Техническая спецификация турбомолекулярных насосов Turbo-V TwisTorr
| TwisTorr 84 FS | TwisTorr 304 FS | TwisTorr 750 | TwisTorr 850 | TwisTorr 2300 | |
| Скорость откачки | |||||
| по Азоту,(N2), л/сек | 67 | 250 | 700 | 750 | 2050 |
| по Аргону (Ar), л/сек | 60 | 250 | 680 | 700 | N/A |
| по Гелию (He), л/сек | 69 | 255 | 680 | 690 | 1800 |
| по Водороду (H2), л/сек | 59 | 220 | 580 | 590 | 1500 |
| Степень сжатия | |||||
| по Азоту (N2) | >1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | >8 x 108 |
| по Аргону (Ar) | >1 x 1011 | >1 x 1011 | 1 x 1011 | 1 x 1011 | N/A |
| по Гелию (He) | >1,3 x 107 | 1 x 108 | 2 x 108 | 2 x 108 | 8 x 105 |
| по Водороду (H2) | 1,8 x 105 | 1,5 x 106 | 2,5 x 106 | 2,5 x 106 | 4 x 104 |
| Предельное давление, мбар, | <4 x 10-10 | <1 x 10-10 | <1 x 10-10 | <1 x 10-10 | 1 x 10-10 |
| Максимальное форвакуумное давление, мбар | 14 | 10 | 6 | 6 | 4 |
| Высоковакуумный фланец | ISO63 / CFF63 / KF40 / CFF40 | ISO100 / CFF100 / ISO160 / CFF160 | ISO160K / CFF160 / ISO160F | ISO200K / CFF200 / ISO200F | ISO250F / CFF250 |
| Форвакуумный фланец | KF16 | KF16 (опиция KF25) | KF25 | KF25 / KF40 | KF40 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 81 000 | 60 000 | Выбираемая от 21 000 до 49 500 | Выбираемая от 21 000 до 49 500 | 33 300 |
| Время запуска, мин | < 2 | < 3 | < 3 | < 3 | < 6 |
| Рекомендованный форвакуумный насос | |||||
| Пластинчато-роторный насос | DS 42 / DS 102 | DS 102 | DS 302 | DS 302 | DS 402 / DS 602 |
| Сухой спиральный насос | IDP 3 / SH 110 | IDP 3 / SH 110 | PTS 300 | PTS 300 | PTS 600 |
| Положение насоса | Любое | ||||
| Охлаждение | водяное / воздушное | ||||
| Вес, кг | 2,05 | 5,5 | 15,9 | 16,1 | 54,2 |
| Смазка подшипников | сухая консистентная | ||||
Техническая спецификация контроллеров турбомолекулярных насосов TwisTorr
| T-V 84FS Navigator / T-V 84FS Rack | T-V 304FS Navigator / T-V 304FS-AG Rack | T-V 750 Navigator / T-V 750-AG Rack | T-V 850 Navigator / T-V 850-AG Rack | T-V 2300-AG Rack | |
| Тип | Встроенный / Отдельный | Встроенный / Отдельный | Встроенный / Отдельный | Встроенный / Отдельный | Отдельный |
| Входное напряжение | 24 В / 100-240 В | 24 В / 100-240 В | 48 В / 100-240 В | 48 В / 100-240 В | 220-240 В |
| Максимальная входная мощность | 55 / 70 Ватт | 200 / 300 Ватт | 450 / 450 Ватт | 450 / 450 Ватт | 1300 Ватт |
| Интерфейс | RS 232 / RS 485 | RS 232 / RS 485 | RS 232 / RS 485 | RS 232 / RS 485 | RS 232 / RS 485 |
| Подключение датчики давления | до 1 | до 1 | до 2 | до 2 | N/A |
Насосы серии Turbo-V были специально разработаны для работы при условии высокой газовой нагрузки. Данные насосы могут работать в любой ориентации.
Они имеют монолитный ротор, изготовленный из одной заготовки высокотехнологичного алюминиевого сплава. Это дает возможность уменьшить массу ротора. Уменьшение массы соединений насоса позволяет уменьшить напряжение в деталях и подшипниках, что продлевает срок работоспособности.
Шары подшипников в подшипниковом узле изготовлены из нитрида кремния. Это обеспечивает их твердость, температурную стабильность, невысокий коэффициент трения, химическую стабильность.
Техническая спецификация турбомолекулярных насосов Turbo-V
| T-V 81-M | T-V 81-T | T-V 551 | T-V 701 | T-V 1001 | T-V 1K-G | T-V 2K-G | T-V 3K-G | |
| Скорость откачки, л/сек | ||||||||
| по Азоту,(N2) | 77 | 77 | 550 | 690 | 1050 | 1080 | 1600 | 2200 |
| по Гелию,(He) | 65 | 65 | 600 | 620 | 900 | 1150 | N/A | 1900 |
| по Водороду,(H2) | 50 | 50 | 510 | 510 | 920 | 730 | N/A | N/A |
| Степень сжатия | ||||||||
| по Азоту,(N2) | 5 x 108 | 7 x 106 | 1 x 109 | 1 x 109 | 1 x 109 | 5 x 108 | 3 x 105 | 1 x 107 |
| по Гелию,(He) | 8 x 104 | 3 x 103 | 1 x 107 | 1 x 107 | 1 x 107 | 4 x 104 | N/A | 6 x 103 |
| по Водороду,(H2) | 7 x 103 | 3 x 102 | 1 x 106 | 1 x 106 | 1 x 106 | 1,5 x 104 | N/A | N/A |
| Предельное давление, мбар | 5 x 10-10 | 5 x 10-9 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-10 | 1 x 10-8 | 1 x 10-8 |
| Высоковакуумный фланец | KF40 / CFF40 / ISO63 / CFF63 | KF40 / CFF40 / ISO63 / CFF63 | ISO160 / CFF100 / ISO160F / CFF160 | ISO200 / CFF200 / ISO160F | ISO160 / ISO200 / ISO200F / CFF200 / ISO250 / ISO250F | ISO160 / ISO200 | ISO250 F | ISO250 F |
| Форвакуумный фланец | KF 16 | KF 16 | KF 25 | KF 25 | KF 40 | KF 25/KF 40 | KF 40 | KF 40 |
| Время запуска, мин | < 1 | < 1 | < 5 | < 5 | < 4 | < 5 | < 7 | < 6 |
| Скорость вращения ротора, об/мин | 80 000 | 80 000 | 42 000 | 42 000 | 38 000 | 45 660 | 33 000 | 31 800 |
| Рекомендованный форвакуумный насос | ||||||||
| Пластинчато -роторный насос | DS 42 / DS 102 | DS 42 / DS 102 | DS 302 | DS 402 | DS 402 | DS 402 / DS 602 | MS 40 | MS 40 |
| Сухой спиральный насос | IDP 3 / SH 110 | IDP 3 / SH 110 | PTS 300 | PTS 300 | PTS 300 | PTS 300 / PTS 600 | PTS 600 | PTS 600 |
| Положение | Любое | |||||||
| Вес, кг | 2 | 1,82 | 16 | 16 | 19 | 26,8 | 35 | 52 |
| Смазка подшипников | сухая консистентная | |||||||
Техническая спецификация контроллеров для турбомолекулярных насосов Turbo-V
| T-V 81-AG Navigator / T-V 81-AG Rack | T-V 551 Navigator / T-V 550 Rack | T-V 701 Navigator / T-V 700HT Rack | T-V 1001 Navigator / T-V 1000HT Rack | |
| Тип | Встроенный / Отдельный | |||
| Входное напряжение | 100 ÷ 240 В ±10% | |||
| Входная мощность | 80 Ватт | 300 Ватт | 850 Ватт | 700 Ватт |
| Выходная мощность | 50 В / 76 В | 75 В / 75 В | 54 В / 56 В | 54 В / 56 В |
| Интерфейс | RS 232 / RS 485 | |||
| Вес | 0,3 кг / 1,3 кг | 3 кг / 15,7 кг | 3 кг / 15,7 кг | 3 кг / 15,7 кг |
Контроллеры турбомолекулярных насосов моделей T-V 2-KG, T-V 1-KG, T-V 3-KG интегрированы в корпус. Имеют встроенный интефейс RS 232/485.
